深圳大学实验区（以下简称深大实验区）作为射频异质异构集成全国重点实验室的建设主体，主要围绕射频异质异构集成领域的关键科学技术问题，包括1）跨尺度载流子-电磁-热-应力多物理特性耦合与演变规律、2）多性能多功能协同机制与可测性原理、3）异质界面生成与工艺量化调控机理等，开展系统深入的原创性、前瞻性基础研究和核心技术攻关，认识基本原理，掌握理论方法与核心技术，形成射频异质异构集成能力、平台和标准，研制一系列面向国家重大需求的射频异质异构集成电路系统。目前，深大实验区的主要研究方向包括：1）耦合多物理场理论与设计方法学；2）射频异质异构集成工艺；3）可测性与测试表征；4）射频异质异构集成技术应用等。

深大实验区拥有超净实验环境面积约1800平方米，测试实验室及办公面积约10000余平方米。实验设备规划齐全，包括高精度射频测试系统、晶圆键合/解键合系统、先进封装设备、光刻系统、磁控溅射镀膜系统、化学气相沉积系统、原子层沉积系统、薄膜热处理设备、刻蚀设备以及材料/结构表征设备等先进设备和系统，总价值逾3亿元。此外，深大分室整合了深圳大学在半导体和物理光电研究方向的优势资源，包括光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室以及深圳大学光电中心。

目前，深大实验区固定人员中包含两院院士4名，发达国家院士3名，国家级领军或青年人才20余名，后备青年教师100余人，实验室人员队伍结构合理，创新意识和能力强。近五年共承担科研项目近400项，合同经费逾3.4亿元，包括科技部重大仪器专项、国家杰出青年科学基金项目、国家基金委重大科研仪器专项、国家重点研发计划、国家科技重大专项子课题、973计划子课题等重大和重点科研项目，在Science、Nature Photonics、Nature Communications、Chemical Reviews、Light-Science & Applications、Advanced Materials、Nano Letters、IEEEMTT、IEEETAP等国际权威期刊上发表论文1000多篇。