射频异质异构集成全国重点实验室（State Key Laboratory of Radio Frequency Heterogeneous Integration）（以下简称实验室）由深圳大学牵头建设，上海交通大学和中兴通讯股份有限公司参与共建。

实验室主体位于深圳大学粤海校区科技园大楼，其中超净实验环境约2000平方米，办公面积约10000平方米。实验室拟购置高精度射频测试系统、晶圆键合/解键合系统、先进封装设备、光刻系统、磁控溅射镀膜系统、化学气相沉积系统、原子层沉积系统、薄膜热处理设备、刻蚀设备以及材料/结构表征设备等，设备总价值约3亿元。

射频异质异构集成全国重点实验室（深圳大学）已投入使用的实验室主要包含：光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室、毛军发院士团队实验室与光电中心。（1）光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室总面积达8200平方米，包括1200平方米的百级和万级净化实验室；同时配有完备的电子级超纯水制备系统、各种特殊气体输送系统等辅助设施，仪器设备总值达2亿元以上；（2）毛军发院士团队实验室位于沧海校区致真楼12楼，建筑面积1520平方米，实验室正在建设国际领先的射频测试条件，将形成从材料到芯片、从器件到系统的端口测试、片上测试和空口测试完整能力，主要设备包括：500 GHz网络分析仪、110 GHz信号发生器和频谱仪、256 GSa/s高采样率示波器、500 GHz片上天线测量系统、110 GHz近远场天线测试系统等先进测试设备；（3）光电中心位于深圳大学沧海校区致腾楼负一楼，建筑面积1350平方米，超净实验环境约1000平方米。已配备的大型设备包括：电子束光刻机、高分辨电子束成像曝光机、全谱段多功能微纳成像仪、多腔镀膜仪、台式扫描电镜、台阶仪，设备总价值约6000万元。

努力将实验室建设成为射频异质集成电路领域国际先进的研究和人才培养基地，在相关领域引领学科前沿和原始创新，促进我国集成电路变道超车发展。