多腔镀膜仪

Multi-chamber Vacuum Coating System

仪器介绍

INSTRUMENT INTRODUCTION

品牌: Syskey

型 号: ASN-EPI-C6

制造商: 台湾矽碁科技股份有限公司

原产地: 中国台湾

主要功能及特色：

该设备由超高真空电子束蒸发工艺腔体，化学气相沉积工艺腔体，等离子体刻蚀工艺腔体，中央传输腔体，快速进样兼样品翻转腔体和控制机柜组成。可实现各种薄膜材料的沉积，包括金属，半导体，各种介质材料等，以及可以实现介质材料的刻蚀，支持的最大样品尺寸为6英寸。目前中心支持的镀材包括以下十种：Au、Pd、Pt、Ag、Cu、Ti、Cr。

放置地点：

深圳大学光电中心，深大南校区基础实验楼一期负一楼

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