双光子聚合3D光刻机

Two photon polymerization 3D lithography machine

仪器介绍

INSTRUMENT INTRODUCTION

品牌: WOP

型 号: ASN-EPI-C6

制造商: UAB Altechna R&D

原产地: 立陶宛

主要规格和技术参数：

飞秒激光光源： 1. 波长：1028±5 nm 2. 平均功率：≥4W @ 1028 nm 3. 重复频率：1 Hz至200 KHz可调 4. 脉冲宽度：290 fs至10 ps可调 5. 最大脉冲能量：>200μJ 6. 光束直径：3 ±1 mm 7. 封闭内循环水冷却 二倍频模块： 1. 输出波长：514±3 nm 2. 转换效率：>50 % @514 nm 精密定位平台： 1. XYZ1+Z2四轴定位平台（X轴和Y轴为空气轴承平台） 2. 行程（XYZ1Z2）：200*100*5*50 mm 3. 定位精度XY：±400 nm 4. 定位精度Z1：±1.5 μm 5. 定位精度Z2：±2.5 μm 6. 重复精度XY：±100 nm 7. 分辨率XY：5 nm 空间光调制器（SLM） 1. 矩阵大小：SXGA (1280 x 1024 pixels) 2. 操作波长：510 ± 50 nm 3. 输入位数：256 (8 bits) levels 4. 有效面积：16 mm x 12.8 mm 5. 空间分辨率：≤25 lp/mm 6. 光学转换效率：≥98 % 聚焦光学元件 1. 放大率/数值孔径：10倍，20倍，50倍，100倍，63倍，其中 63倍为油镜。 2. 数值孔径分别对应为：0.28，0.29，0.42，0.7，1.4 3. 工作距离分别对应：34，31，17，6，0.1 4. 分辨率分别对应：4 μm，2 μm，1 μm，0.5 μm，0.3 μm

主要功能及特色：

1. 微加工：微切割、开孔、开槽、打标等 2. 制作表面微纳结构 3. 制作光波导 4、双/多光子聚合

放置地点：

深圳大学光电中心，深大南校区基础实验楼一期负一楼

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