台阶仪

DEKTAK XT Stylus Profiler

仪器介绍

INSTRUMENT INTRODUCTION

型 号: DEKTAK XT手动台

制造商: 布鲁克

原产地：马来西亚

主要规格和技术参数：

扫描长度：50um-55mm 测量最大落差（薄膜厚度）：1mm 取点频率表：每秒取300个点 探针加力范围：1mg-15mg 最多取点个数：120000个（扫描时间为400s的时候） 最短取点间隔：0.003um（扫描时间和扫描长度数值相等时） 重复性：重复测量30次标准块，统计结果的std值小于4A

主要功能及特色：

扫描得到样品表面轮廓线，通过分析可以得到该轮廓线上不同区域的高度落差（膜厚），粗糙度、应力等。

放置地点：

深圳大学光电中心，深大南校区基础实验楼一期负一楼

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