直流探针台

Dc Probe System

仪器介绍

INSTRUMENT INTRODUCTION

品牌: MPI

型 号: TS150

主要规格和技术参数：

1.空气轴承载物台设计：可XY轴移动180×230mm，25×25 mm千分尺微调；2.手动显微镜：可XY轴移动50 x 50mm，12倍变焦和95mm工作距离；3.RF 校准：精确校准1µm平面度。

主要功能及特色：

是开放、易于使用且具有成本效益的手动探针系统，设计用于对最大 150、200 和 300 毫米的基板和晶圆进行精密分析。这些系统适用于各种应用，如故障分析、设计验证/IC工程、晶圆级可靠性、MEMS、高功率和器件表征和建模。

放置地点：

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，深大南校区致真楼1205室

                                                                                                                                联系人：黄燕程    联系方式：15013492206