射频探针台

Radio Frequency Probe System

仪器介绍

INSTRUMENT INTRODUCTION

品牌: MPI

型 号: TS150-THZ

主要规格和技术参数：

1.空气轴承载物台设计：可XY轴移动180×300mm，25×25 mm千分尺微调，可Z轴移动10mm，分辨率< 1.0 µm；2.手动显微镜：可XY轴移动50 x 50 mm，分辨率< 5µm，12倍变焦和95mm工作距离；3.RF 校准：精确校准1µm平面度。

主要功能及特色：

MPI TS150-THZ是全球首款150mm专用探针台，专为mmW和THz晶圆上测量而设计，最高可达1.5THz及更高。它提供了无与伦比的功能：无缝集成任何频段、差分或宽带扩展器，最高可达1.5THz；最大的机械稳定性和可重复性，以及方便和安全的操作；最小化测量路径，实现最佳测量方向性。

放置地点：

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，深大南校区致真楼1206室

                                                                                                                        联系人：黄燕程  联系方式：15013492206