仪器介绍：
品牌型号：蔡司/ GeminiSEM 360
主要功能： 固体材料表面超微观形貌观测与成分分析。
核心参数：
1. 样品尺寸：最大支持 8 英寸；
2. 二次电子分辨率：0.7 nm @ 15 kV，1.2 nm @ 1 kV；
3. 宽电压范围：对导电性差的绝缘样品无需喷金；
4. 支持大面积自动化拼接成像；
5. 电磁 / 静电复合式透镜会聚系统：可对铁磁性和易磁性材料进行 2 mm 的短距离成像检测；
6. 高真空 / 稳定性：长时间连续观察不漂移。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
