仪器介绍：

品牌型号：蔡司/ Crossbeam 350

主要功能：纳米级加工与三维截面分析、成分分析。配有飞秒激光加工系统，可实现从微米级到纳米级的样品加工。

核心参数：

1. 样品尺寸：最大 8 英寸；

2. 离子束分辨率：3.0 nm @ 30 kV；

3. 离子束放大系统放大倍率：300x ~ 500kx；

4. 原位沉积：能够沉积金属（如 Pt）保护层；

5. 电子束分辨率：0.9 nm @ 15 kV；1.7 nm @ 1 kV；

6. 能谱仪：有效面积 60 mm²，元素范围 Be (铍，4 号) ~ Cf (锎，98 号)，能量分辨率：在 130,000 CPS 条件下 Mn Kα ≤ 129 eV；

7. 加装 EDS 探测器可进行成分分析；

8. 双束/多束协同：同时具备电子束（成像）与离子束（加工）。

放置地点：

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。

平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn    联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室