仪器介绍：
品牌型号： BRUKER / Dimension ICON
主要功能：测量物质表面的原子级粗糙度、形貌、力学/电学性质。
核心参数：
1. 垂直分辨率：0.01 nm ；
2. 支持最大兼容8英寸晶圆非破坏测量；
3. 8 个通道同步采集，同时获得 5000 × 5000 数据点；
4. 快速扫描：扫描速度 20 Hz @ 2×2 μm² 扫描范围；
5. 多模式扩展：支持力谱测试和表面电势原位测试；
6. 力学性质定量：可测量材料的硬度、杨氏模量及粘附力。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
