仪器介绍：
品牌型号：PVA Tepla / SAM 301
主要功能： 利用高频超声波对不透明材料进行内部成像，探测封装内部的空洞、分层、裂纹等深层物理缺陷。
核心参数：
1. XY 扫描范围：最大 320 mm × 320 mm，最小 1 μm × 1 μm；
2. XY 重复定位精度：±0.5 μm；
3. 界面势能范围：0.001 ~ 2000 mN / m，分辨率 ±0.01 mN / m；
4. 支持多扫描模式和多层扫描；
5. 可根据声波回传时间确定缺陷深度；
6. 可通过回波相位判断材料界面结合质量。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
