仪器介绍
品牌：MPI
型号：TS150-THz
主要性能参数：
1.最大测试频率：500 GHz；
2.测试端口数量：4 端口；
2.XY轴调节范围：25 * 25 mm，实现1 um定位；
3.样品台：尺寸6寸，平整度＜10 um；
4.针座X/Y/Z螺杆旋钮分辨率≤500 um，行程≥13 mm。
主要功能用途：
固定晶圆或器件，并精确定位待测物，使用显微镜将探针尖端放置到待测位置上，为毫米波、太赫兹和自动阻抗调谐器等应用提供精确的测试。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，沧海校区致真楼1208室。
联系人：黄燕程 联系地址：深圳大学沧海校区致真楼1204A室
