仪器介绍

品牌：MPI

型号：TS150

主要性能参数：

1.测试端口数量：4 端口；

2.样品尺寸：6 寸/4 寸晶圆，以及碎片（最小可支持4 * 4 mm单颗器件）；

3.样品台：

（1）XY轴范围：180 * 239 mm；

（2）精调范围：≥25 * 25 mm；

（3）移动分辨率：＜1 μm；

（4）可旋转角度：≥±5°。

主要功能用途：

固定晶圆或芯片，并精确定位待测物，同时使用显微镜将直流探针尖端放置到待测物上的正确位置，从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件相关电性能参数。

放置地点：

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼2007室。

                                                                                                                              联系人：钟国香    联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2005室