仪器介绍
主要功能：利用镀膜的方向性，实现Ti、Cu、Ag、SiO2、Al2O3等金属薄膜的垂直沉积。
核心参数：
1. 样品尺寸：最大兼容 8 英寸；
2. 电子枪：5 kW，加速电压 4 ~ 10 kV 可调；
3. 坩埚：6 个，容量 20 cc；
4. 极限真空度：5 × 10-8 Torr；
5. 非均匀性：≤ 5%（ 8 英寸）。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
