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高分辨三维 X 射线显微镜

来源:   时间:2026-07-10  浏览量:

仪器介绍:

品牌型号:蔡司/ VersaXRM 730

主要功能:材料内部结构非破坏性三维成像。

核心参数:

1. 样品尺寸:最大兼容8英寸;

2. 空间分辨率:500 nm;

3. 封闭式X射线源:最高工作电压160 kV,最大功率25 W ;

4. 适配不透明、高价值、难切割样品;

5. 扫描方式:垂直拼接、高深宽比TGV扫描等;

6. 样品移动自适应矫正、图像比对位移参照矫正;

7. 多能谱成像:支持对比度增强,区分密度接近的不同材料。

放置地点:

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室,粤海校区汇研楼负一楼。


平台咨询邮箱:pphi@szu.edu.cn     联系地址:深圳大学粤海校区汇研楼2010室


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版权所有:射频异质异构集成全国重点实验室