
仪器介绍:
品牌型号:蔡司/ VersaXRM 730
主要功能:材料内部结构非破坏性三维成像。
核心参数:
1. 样品尺寸:最大兼容8英寸;
2. 空间分辨率:500 nm;
3. 封闭式X射线源:最高工作电压160 kV,最大功率25 W ;
4. 适配不透明、高价值、难切割样品;
5. 扫描方式:垂直拼接、高深宽比TGV扫描等;
6. 样品移动自适应矫正、图像比对位移参照矫正;
7. 多能谱成像:支持对比度增强,区分密度接近的不同材料。
放置地点:
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室,粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱:pphi@szu.edu.cn 联系地址:深圳大学粤海校区汇研楼2010室