
仪器介绍:
品牌型号:J. A. Woollam / RC2
主要功能:测量薄膜的厚度、折射率、消光系数等光学常数。
核心参数:
1. 非接触无损测量;
2. 测量范围:数埃 ~ 微米级膜厚;
3. 光谱范围:210 nm ~ 1690 nm;
4. 光斑直径:普通 3 ~ 5 mm,微光斑 300 μm;
5. 支持多层膜拟合、毫秒级动态采集;
6. 测量时间:全穆勒矩阵测试周期 0.3 s;每个角度 @ 最优信噪比 ≤ 10 s。
放置地点:
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室,粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱:pphi@szu.edu.cn 联系地址:深圳大学粤海校区汇研楼2010室