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椭偏仪

来源:   时间:2026-07-10  浏览量:

仪器介绍:

品牌型号:J. A. Woollam / RC2

主要功能:测量薄膜的厚度、折射率、消光系数等光学常数。

核心参数:

1. 非接触无损测量;

2. 测量范围:数埃 ~ 微米级膜厚;

3. 光谱范围:210 nm ~ 1690 nm;

4. 光斑直径:普通 3 ~ 5 mm,微光斑 300 μm;

5. 支持多层膜拟合、毫秒级动态采集;

6. 测量时间:全穆勒矩阵测试周期 0.3 s;每个角度 @ 最优信噪比 ≤ 10 s。

放置地点:

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室,粤海校区汇研楼负一楼。


平台咨询邮箱:pphi@szu.edu.cn    联系地址:深圳大学粤海校区汇研楼2010室


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版权所有:射频异质异构集成全国重点实验室