仪器介绍：
品牌型号：KLA / KLA P7
主要功能：测量样品表面的台阶高度、粗糙度、波纹度及翘曲度。
核心参数：
1. 探针触针式：物理接触测量，不受材料光学性质干扰；
2. 台阶分辨率：亚埃级；
3. 扫描长度：150 mm，垂直范围：1000 μm；
4. 长程扫描：支持百毫米级长行程连续扫描；
5. 高稳定性：长程扫描下也能维持纳米级重复性；
6. 恒力控制：探针压力极小且恒定，不划伤样品；
7. 工作温度：25 °C ~ 500 °C；
8. 支持 2D / 3D 形貌云图。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
