仪器介绍：
主要功能：飞秒激光高能脉冲使玻璃内部产生理化改性，实现微米级诱导成孔与高深宽比结构成型，具备冷加工低热损伤、高精度、大尺寸加工优势，是高端先进封装及微纳光电芯片超高精度孔结构研制的专用核心设备。
核心参数：
1. 材料类型：石英玻璃、硼硅玻璃、铝硅玻璃、铝硼硅玻璃等；
2. 激光参数：波长 515 nm，脉宽 372 fs，能量 0 ~ 10 W；
3. 加工尺寸：最大兼容310 × 310 mm；
4. 加工厚度：< 1 mm；
5. 位置精度：晶圆 ±2 μm；
6. 自动导图：支持 D×F、GDS 格式，自动优化运动轨迹；
7. 多种加工模式可选：适配不同图纸方案。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
