仪器介绍：

主要功能：采用全自动光学检测，超快检测速度、超高测量精度，可精准检测玻璃 TGV表孔、腰孔形貌及孔径、孔深、孔位、真圆度、孔壁缺陷、微裂纹、堵孔、异物残留等全维度参数缺陷。

核心参数：

1. 适用尺寸：最大510 × 515 mm 玻璃基板，厚度 0.3 ~ 2.0 mm；

2. 检测通孔直径 ≥ 10 μm，腰孔直径 ≥ 15 μm，可检测表面缺陷尺寸 ≥ 2 μm；

3. 检测分辨率 0.9 μm / pixel，定位精度 ≤ 2 μm，重复定位精度 ≤ 1 μm；

4. 漏检率 0 %，误报率 < 400 ppm；

5. 检测效率：检测周期 ( Cycle Time ) ≤ 30 min / 片；

6. 支持漏孔、孔径（上下表面/腰孔）、真圆度、同心度、孔位精度检测；

7. 支持缺陷 Mapping、统计分析及 DXF / CAD 格式输出。

放置地点：

深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。

平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn    联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室