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设备与平台
真空贴压膜系统
来源： 时间：2026-07-14 浏览量：
仪器介绍：
主要功能：专用于具有结构图案的晶圆表面贴压膜制程。
核心参数：
1. 样品尺寸：4 / 6 / 8 寸晶圆；
2. 支持PR、PI、ABF、SIF等各类干膜；
3. 最低真空值：＜1 Torr；
4. 温度范围：≤ 150 ℃，精度 ± 3 ℃ ；
5. 压力范围：0~5 kgf / cm²。
放置地点：
深圳大学射频异质异构集成全国重点实验室，粤海校区汇研楼负一楼。
平台咨询邮箱：pphi@szu.edu.cn 联系地址：深圳大学粤海校区汇研楼2010室
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