首页 > 设备与平台 > 异质异构集成工艺平台 > 设备情况
设备与平台
电子束蒸发仪
介质刻蚀机
多腔磁控溅射仪
快速原子层沉积设备
深硅刻蚀机
关注我们
常用链接：
版权所有：射频异质异构集成全国重点实验室
